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加熱器位置對多晶硅定向凝固熱場的影響有哪些?

  定向凝固技術是多晶硅錠最主要的生產方法。對定向凝固爐的熱場進行優化是非常有必要的,因為熱場在很大程度上決定了多晶硅錠的質量。加熱器為整個定向凝固爐熱場系統提供熱源, 是控制熱場最重要的因素。隨著硅錠的尺寸不斷加大,為了更好地控制熱場,采用多個加熱器的凝固爐得到廣泛應用。在具有多個加熱器的鑄錠爐中,加熱器的位置和功率分布都會影響爐內的熱場、流場以及固液界面形態。因此,為了得到尺寸更大,質量更好的硅錠,研究加熱器位置對爐內熱場的影響是有必要的。對多晶硅鑄錠爐加熱器已經有人做了一些研究。Li Zaoyang 等用數值模擬的方法分析了鑄錠爐頂部和側部加熱器不同功率分配對硅料熔化、結晶過程以及退火的影響。
 


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